发明名称 Fertigungsvorrichtung zur Herstellung von mikroelektronischen Produkten
摘要 Die Erfindung betrifft eine Fertigungsvorrichtung (2) zur Herstellung von Produkten (3). Erfindungsgemäß weist eine Aufnahmeeinheit (1) eine Mehrzahl von Ausnehmungen (5) auf, in welchen jeweils zumindest ein erstes Bauteil (4) der Produkte (3) anordbar ist, wobei die Aufnahmeeinheit (1) derart ausgebildet ist, dass zumindest die in den Ausnehmungen (5) angeordneten ersten Bauteile (4) in der jeweiligen Ausnehmung (5) formschlüssig und/oder kraftschlüssig in einer durch die Aufnahmeeinheit (1) vorgegebenen Position und Ausrichtung gehalten sind, wobei die Positionen und Ausrichtungen zumindest der in der Aufnahmeeinheit (1) gehaltenen ersten Bauteile (4) erfasst, gespeichert und in zumindest einem Verarbeitungsschritt zur Herstellung der Produkte (3) verwendbar sind. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung von Produkten (3) mittels der Fertigungsvorrichtung (2).
申请公布号 DE102011084576(B3) 申请公布日期 2012.12.13
申请号 DE20111084576 申请日期 2011.10.14
申请人 HAECKER AUTOMATION GMBH 发明人 HAECKER, GERRIT
分类号 H01L21/68;B23Q7/14;H01L21/683;H01L31/0203;H01L31/18 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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