摘要 |
Ein Vierpol-Massenspektrometer zur Verwendung beim Analysieren von Gaskomponenten in einem Prüfkörper ist in einem Aufbau hergestellt, in dem Widerstandsheizung eines Gitters verwirklicht ist, und in dem eine hoch genaue Analyse der Gaskomponenten zu niedrigen Kosten möglich ist, während verhindert wird, dass sich die Empfindlichkeit verringert. Ein Vierpol-Massenspektrometer M1 ist geschaffen mit einem Sensorteil M1, der abnehmbar an dem Prüfkörper TP angebracht werden kann. Unter der Annahme, dass eine Anbringungsrichtung des Sensorteils am Prüfkörper in einer Aufwärtsrichtung liegt, sind am Sensorteil vorgesehen: eine vorgegebene Form des Trägerkörpers 1, der an einem unteren Ende des Sensorteils vorgesehen ist; eine Ionenquelle 2, die am Trägerkörper vorgesehen ist und einen Glühfaden 22 und ein Gitter 21 zum Ionisieren des Gases aufweist; ein Vierpol-Teil 3, der an der Ionenquelle vorgesehen ist, und in dem vier säulenförmige Elektroden 31 in einem vorgegebenen Umfangs-Abstand voneinander angeordnet sind; und ein Ionennachweisteil 4, der am Vierpol-Teil vorgesehen ist, und der vorgegebene Ionen sammelt, die durch Anlegen von Gleich- und Wechselspannungen zwischen gegenüberliegenden Elektroden durch den Vierpol-Teil geströmt sind.
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