| 摘要 |
<p>본 발명은 스펙트로미터를 이용한 비접촉 광학방식으로 제품의 손상을 방지하고 다양한 배율에서 필름이나 글라스 또는 반도체 등에 코팅된 박막의 두께를 신속하게 측정할 수 있는 박막 두께 측정장치에 관한 것이다. 이를 위해 일정거리 이격된 제1 및 제2 수직광로; 제1 수직광로와 연통된 제1 수평광로; 제1 수평광로와 이격되어 제1 및 제2 수직광로를 연통시키는 제2 수평광로; 제1 광원과 연결된 발광라인과 스펙트로미터와 연결된 수광라인이 내장되고, 일단이 제1 수직광로의 상단에 고정설치된 제1 광케이블; 배율이 다른 복수의 대물렌즈와, 대물렌즈 중 어느 하나가 제1 수직광로의 하단에 위치하도록 수평이동시키는 1축 로봇이 구비된 현미경 렌즈부; 제2 광원과 연결되고, 일단이 제2 수직광로의 상단에 고정설치된 제2 광케이블; 제1 수평광로에 설치되어 제1 수직광로의 영상을 획득하는 카메라; 제1 수평광로와 제1 수직광로의 교차부, 제1 수직광로와 제2 수평광로의 교차부 및 제2 수평광로와 제2 수직광로의 교차부에 각각 설치되어 제2 광원의 조명을 카메라로 안내하는 반거울; 및 현미경 렌즈부의 하부에 배치되고, 박막 샘플이 놓여지는 샘플 스테이지;를 포함하는 박막 두께 측정장치가 제공된다.</p> |
