发明名称 OZONE GENERATOR
摘要 Ozone generator cells that include two thermally conductive plates that maintain contact between various layers of the cells in the absence of a bonding agent. The cells lack aluminum-containing materials in the discharge region of the cell.
申请公布号 WO2012170276(A1) 申请公布日期 2012.12.13
申请号 WO2012US40173 申请日期 2012.05.31
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC.;OWENS, DAVID K.;MENEGHINI, PAUL M. 发明人 OWENS, DAVID K.;MENEGHINI, PAUL M.
分类号 C01B13/11 主分类号 C01B13/11
代理机构 代理人
主权项
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