| 发明名称 | 基板框架抽吸装置及其控制方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种基板框架抽吸装置及其控制方法。在一个实施例中，基板框架抽吸装置包括：主体，该主体具有至少一个顶侧开放的腔室；抽吸板，该抽吸板覆盖至少一个腔室的顶部；以及压力调节设备，该压力调节设备被连接到至少一个腔室并且被配置成调节至少一个腔室中的压力。 | ||
| 申请公布号 | CN102820249A | 申请公布日期 | 2012.12.12 |
| 申请号 | CN201210186543.8 | 申请日期 | 2012.06.07 |
| 申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 朴渊默 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 李佳;穆德骏 |
| 主权项 | 一种基板框架抽吸装置，包括：主体，所述主体具有至少一个顶侧开放的腔室；抽吸板，所述抽吸板是由多孔材料制成，以覆盖所述至少一个腔室的顶部；以及压力调节设备，所述压力调节设备被连接到所述至少一个腔室并且被配置成调节所述至少一个腔室中的压力。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道水原市灵通区三星路129 | ||