发明名称 |
高绝缘、高稳定性压电LTGA 单晶及其制造方法、以及使用该LTGA 单晶的压电元件及燃烧压传感器 |
摘要 |
本发明为从由La2O 3、Ta2O5、Ga2O3、Al2O3的混合物制备的多晶体起始原料制造LTGA的单晶的方法,提供一种方法,作为多晶体起始原料,使用由y(La2O3)+(1-x-y-z)(Ta2O5)+z(Ga2O3)+x(Al2O3)表示的组成(该式中,0<x≤0.40/9、3.00/9<y≤3.23/9、5.00/9≤z<5.50/9)的混合物,且设结晶培养轴为Z轴,培养LTGA单晶。优选对培养了的LTGA单晶实施真空热处理。通过本发明的方法培养的、高绝缘、高稳定性LTGA单晶,能够应用于对内燃机燃烧室内的燃烧压力的测定有用的高可靠性的燃烧压传感器的压电元件等。 |
申请公布号 |
CN102822394A |
申请公布日期 |
2012.12.12 |
申请号 |
CN201180012783.X |
申请日期 |
2011.03.09 |
申请人 |
西铁城精技美优达株式会社 |
发明人 |
林贵之;有贺俊光;松仓诚;安斋裕;宫本晃男;松村祯夫;古川保典 |
分类号 |
C30B29/30(2006.01)I;C30B33/02(2006.01)I;H01L41/08(2006.01)I;H01L41/18(2006.01)I;H01L41/24(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/30(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人 |
王永红 |
主权项 |
LTGA单晶的制造方法,其从由La2O3、Ta2O5、Ga2O3、Al2O3的混合物制备的多晶体起始原料制造LTGA的单晶,其特征在于,作为多晶体起始原料,使用由y(La2O3)+(1‑x‑y‑z)(Ta2O5)+z(Ga2O3)+x(Al2O3)表示的组成(该式中,0<x≤0.40/9、3.00/9<y≤3.23/9、5.00/9≤z<5.50/9)的混合物,且设结晶培养轴为Z轴,培养LTGA单晶。 |
地址 |
日本长野县 |