电阻式真空高温炉水冷电极防护屏

摘要

本实用新型公布了一种电阻式真空高温炉水冷电极热防护屏，其采用难熔金属材质按水冷电极受辐射面形状制成多层隔热防护屏，层与层之间以同样材质的隔环隔离，并将防护屏安装于水冷电极下方，从而隔离来自发热体的高温辐射；另外避免热能通过冷却水带走，提高高温炉热效率；其典型应用是单晶硅及蓝宝石晶体生长炉。

主权项

一种电阻式真空高温炉水冷电极防护屏，其特征在于在水冷电极下方安装若干层难熔金属片叠合构成的隔热防护屏，使炉内高温热辐射照射到该组屏片，而不能直接辐射到电极上。