晶体炉用加热棒与水冷电极的过渡连接结构

摘要

本实用新型公布了一种晶体炉用加热棒与水冷电极的过渡连接结构，特征在于将在加热棒两端分别连接一个截面较粗的难熔金属棒，再将较粗的难熔金属棒固定到水冷电极上。此方法确保接触可靠避免电气间隙起弧，并同时避免高温加热棒的热负荷直接与电极接触造成电极热损坏；其能适用于各类低电压大功率钨丝电阻炉，典型应用是蓝宝石晶体生长炉以及单晶硅晶体生长炉。

主权项

晶体炉用加热棒与水冷电极的过渡连接结构，其特征在于在加热棒两端分别连接一个截面较粗的难熔金属棒，再将较粗的难熔金属棒固定到水冷电极上。