真空镀膜用的离子轰击结构

摘要

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及真空镀膜用的离子轰击结构，其包括有轰击棒，轰击棒后端与电极连接，电极与电缆电性连接，电极通过绝缘套固定安装在相应的载体；所述轰击棒与电极同轴设置，轰击棒与电极之间通过螺纹连接。电极与电缆连接的一端设有螺纹段，螺纹段连接的螺母固定电缆与电极的连接。本实用新型设计的真空镀膜用的离子轰击结构，可实现轰击棒通电配合氩气产生放电获得等离子，并以等离子撞击工件表面，使工件表面的污垢离化，从而达到清洁的功效，结构简单，科学合理，投资成本低，体积小巧，安装、使用方便，大大提升工件表面清洁的效率和质量，从而提升真空镀膜的功效和品质。

主权项

真空镀膜用的离子轰击结构，其特征在于：包括有轰击棒（1），轰击棒（1）后端与电极（2）连接，电极（2）与电缆电性连接，电极（2）通过绝缘套（4）固定安装在相应的载体（3）。