硅片检测装置

摘要

本实用新型实施例提供一种硅片检测装置，所述硅片检测装置包括：用于发射光线的光发射装置和设置于用于接收所述光发射装置发射的光线的光接收装置；其中，所述光发射装置位于待检测硅片的一侧，所述光接收装置位于所述硅片的另一侧。本实用新型实施例提供的硅片检测装置，通过在硅片的两侧设置光发射装置和光接收装置，避免了硅片吸光对硅片检测准确度的影响，提高了硅片检测的准确度，从而能够保证印刷台的硅片承载装置正确地进行初始化和承载硅片的操作，避免了承载装置误操作导致硅片破碎，降低了硅片从检测板传送至硬线丝网印刷机的过程中的碎片率。

主权项

一种硅片检测装置，其特征在于，所述硅片检测装置包括：用于发射光线的光发射装置和用于接收所述光发射装置发射的光线的光接收装置；其中，所述光发射装置位于待检测硅片的一侧，所述光接收装置位于所述硅片的另一侧。