一种传送薄基板的滚轮组及使用其进行化学处理的方法

摘要

一种传送薄基板的滚轮组，包括分别固定在上下两个滚轮轴上的上滚轮和下滚轮，所述上滚轮和下滚轮以相同的线速度分别沿顺时针方向和逆时针方向相对转动，以传送薄基板向某一方向移动。所述上滚轮包括固定滚轮和围绕该固定滚轮外周面固定的弹性片。本发明另一方面提出一种使用上述的传送薄基板的滚轮组进行化学处理的方法，具体为使用一组或一组以上的滚轮组使得所述薄基板沿着一个方向不断移动，从而对所述薄基片使用溶液进行连续湿化学处理。本发明可保证上滚轮在任何情况下始终能有一个恒定的力施加在薄基板上，从而薄基板在任何情况下，甚至在脱离下滚轮的情况下也能平稳地带动，以便顺利地进行连续湿化学处理。

主权项

一种传送薄基板的滚轮组，包括分别固定在上下两个滚轮轴上的上滚轮和下滚轮，所述上下两个滚轮轴在各自的主动驱动轴的驱动下使得上滚轮和下滚轮以相同的线速度分别沿顺时针方向和逆时针方向相对转动，从而使得通过上滚轮和下滚轮之间的薄基板在该滚轮组的作用下向某一方向移动，其特征在于，所述上滚轮包括固定滚轮（12）和围绕该固定滚轮（12）外周面固定的多个弹性片（14），并且所述固定滚轮（12）不接触薄基板。