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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR OPTICALLY INSPECTING A TEST OBJECT WITH AN AT LEAST PARTIALLY REFLECTIVE SURFACE
摘要
申请公布号 EP2531836(A1) 申请公布日期 2012.12.12
申请号 EP20110705434 申请日期 2011.02.01
申请人 CARL ZEISS OIM GMBH 发明人 BECK, ROLF
分类号 G01N21/47;G01B11/25;G01N21/88 主分类号 G01N21/47
代理机构 代理人
主权项
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