光刻中的旁瓣图像搜寻方法

摘要

本发明是关于一种用于检测全芯片布局中的旁瓣的方法，全芯片布局具有设计于光罩上的主要图案。此方法包括以多边形、圆形或环形来围绕主要图案。执行光刻规则检验且使用多边形、圆形或环形来找出旁瓣的发生区域。较佳以误差旗标来标记旁瓣的位置。

主权项

一种用于检测全芯片布局中的旁瓣的方法，其特征在于，所述的方法包含：（a）提供复数主要图案，其中所述主要图案形成于一光罩上；（b）以多边形图案来围绕所述主要图案；以及（c）执行光刻规则检验，所述光刻规则检验包括在三个或四个所述多边形图案的交叉点来搜寻旁瓣。