发明名称 | 太阳能8寸单晶硅棒生长速度调节装置 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种太阳能8寸单晶硅棒生长速度调节装置,安装于热场坩埚上,所述热场坩埚的开口上部设有热屏。优化的,热屏为碳碳复合材料热屏;热场坩埚的外部包设有碳毡。本实用新型所具有的优点是:能够调节氩气流的走向,从而能够较好的调节热场坩埚中的单晶硅棒的拉晶质量;成品晶棒结构均匀,杂质较少。 | ||
申请公布号 | CN202595335U | 申请公布日期 | 2012.12.12 |
申请号 | CN201220204549.9 | 申请日期 | 2012.05.09 |
申请人 | 江苏聚能硅业有限公司 | 发明人 | 唐旭辉;高彬彬 |
分类号 | C30B15/20(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/20(2006.01)I |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 太阳能8寸单晶硅棒生长速度调节装置,安装于热场坩埚(10)上,其特征在于:所述热场坩埚(10)的开口上部设有热屏(20)。 | ||
地址 | 215000 江苏省苏州市吴江市盛泽镇西二环路1号 |