| 发明名称 | 图像检测元件及其形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种图像检测元件及其形成方法。图像检测元件包括图像检测器位于半导体基板中；层间介电层位于半导体基板上；多个金属间介电层及多层内连线形成于层间介电层上；以及彩色滤光片位于金属间介电层中且位于图像检测器上。本发明能够大幅减少光径的长度，并且提高图像检测的效率。 | ||
| 申请公布号 | CN101604700B | 申请公布日期 | 2012.12.12 |
| 申请号 | CN200910149299.6 | 申请日期 | 2009.06.12 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 洪志明;刘人诚;杨敦年;庄俊杰 |
| 分类号 | H01L27/146(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 姜燕;陈晨 |
| 主权项 | 一种图像检测元件，包括：一图像检测器位于一半导体基板中；一层间介电层位于该半导体基板上；多个金属间介电层及多层内连线形成于该层间介电层上，其中该多层内连线包含一顶金属层；以及一彩色滤光片，位于该些金属间介电层中、位于该顶金属层的垂直方向的下侧并贯穿至少一金属间介电层，且位于该图像检测器上，其中该彩色滤光片的侧视形状为多阶形。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹市 | ||