| 发明名称 |
DYNAMIC FLUID VALVE AND METHOD FOR ESTABLISHING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2531634(A1) |
申请公布日期 |
2012.12.12 |
| 申请号 |
EP20110703282 |
申请日期 |
2011.01.31 |
| 申请人 |
LEVITECH B.V. |
发明人 |
KUZNETSOV, VLADIMIR;TAK, PIETER |
| 分类号 |
C23C14/56;C23C16/455;H01L21/677 |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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