电子显微镜电子枪的换气装置

摘要

本发明公开一种电子显微镜的电子枪换气装置，属电子显微镜领域。包括：四通组件设有进气接口、抽放气接口、压力表接口和接电子枪的换气接口，四个接口通过四通组件内部相互连通；其中，四通组件的进气接口与充气组件的出气口连接，抽放气接口经转换阀与抽气装置连接，压力表接口与电接点压力表连接；转换阀设有抽气接口和四通组件接口，通过四通组件接口与四通组件的抽放气接口连接，通过抽气接口与抽气装置连接，转换阀内设有开关，开关设有抽气、充气和放气三个位置，处于抽气位置时能使四通组件接口与抽气接口之间连通；处于充气位置时能使四通组件接口与抽气接口都关闭，处于放气位置能进行放气。该换气装置结构简单，操作方便，密封性好。

主权项

一种电子显微镜电子枪的换气装置，其特征在于，包括：四通组件、充气组件、转换阀、抽气装置和电接点压力表；所述四通组件设有进气接口、抽放气接口、压力表接口和用于连接电子枪的换气接口，四个接口通过所述四通组件内部相互连通；其中，所述四通组件的进气接口与所述充气组件的出气口连接，抽放气接口经所述转换阀与所述抽气装置连接，压力表接口与所述电接点压力表连接；所述转换阀设有抽气接口和四通组件接口，通过所述四通组件接口与所述四通组件的抽放气接口连接，通过抽气接口与所述抽气装置连接，所述转换阀内部设有开关结构，所述开关结构设有抽气、充气和放气三个位置，处于抽气位置时能使所述四通组件接口与抽气接口之间连通；处于充气位置时能使所述四通组件接口与抽气接口都关闭；处于放气位置时能使所述四通组件接口经所述转换阀与外部大气相通进行放气。