静电吸盘

摘要

提供一种电力自给型的静电吸盘(8)，能够在基板的处理中进行发电并且供给吸附电极(3)所使用的电力。该静电吸盘(8)在产生光能而处理基板的基板处理装置(11)中吸附保持基板，其特征在于，具有：具备吸附电极(3)的电极片(5)、在上表面侧层叠电极片(5)的金属基盘(1)、得到供给吸附电极(3)的电力的内部电源、以及对由内部电源得到的电力的电压进行升压的升压电路(7)，内部电源为太阳能电池(6)，在基板的处理中将光能转换为电力而使电极片(5)吸附保持基板。

主权项

一种电力自给型的静电吸盘，在产生光能而处理基板的基板处理装置中吸附保持基板，其特征在于，具有：具备吸附电极的电极片、在上表面侧层叠电极片的金属基盘、得到供给吸附电极的电力的内部电源、以及对由内部电源得到的电力的电压进行升压的升压电路，内部电源是太阳能电池，接收上述光能，在基板的处理中将光能转换为电力而使电极片吸附保持基板。