X射线检查装置及X射线检查方法

摘要

提供对检查对象的物规定检查区域进行高速检查的X射线检查装置及方法。X射线检查装置(100)具有输出X射线的扫描型X射线源(10)、安装多个X射线检测器(23)并能独立驱动多个X射线检测器(23)的X射线检测器驱动部(22)、控制来自X射线检测器驱动部(22)及X射线检测器(23)的图像数据的取得的图像取得控制机构(30)。扫描型X射线源(10)对各X射线检测器(23)，使X射线透过检查对象(20)的规定检查区域入射到各X射线检测器(23)，使X射线源的X射线焦点位置移动到所设定的各放射X射线的起点位置来放射X射线。并行交替执行X射线检测器(23)的一部分拍摄和其他部分向拍摄位置移动。图像控制取得机构(30)取得X射线检测器(23)检测的图像数据，运算部(70)基于该图像数据进行检查区域的图像重建。

主权项

一种X射线检查装置，在多个检测面上对透过对象物的检查对象区域的X射线进行拍摄，由此执行上述检查对象区域的像的重建处理，其特征在于，具有：多个X射线检测器，用于在多个上述检测面上进行拍摄，并且上述X射线检测器的数目比检测面的数目少，检测器驱动部，使多个上述X射线检测器中的一部分X射线检测器与另一部分X射线检测器相独立地移动，X射线输出部，与上述X射线检测器对应地输出X射线，以使透过上述检查对象区域的X射线入射到分别移动到成为上述检测面的多个拍摄位置的多个上述X射线检测器中，控制部，对上述X射线检查装置的动作进行控制；上述控制部包括：图像取得控制部，控制各上述X射线检测器的曝光时机和上述检测器驱动部，X射线输出控制部，用于控制上述X射线输出部，图像重建处理部，基于在多个上述检测面上拍摄到的、透过上述检查对象区域的X射线的强度分布的数据，来重建上述检查对象区域的图像数据；上述图像取得控制部及上述X射线输出控制部，并行地执行第一处理和第二处理，在所述第一处理中，使多个上述X射线检测器中的上述一部分X射线检测器在多个上述拍摄位置中的第一位置进行拍摄，在所述第二处理中，使多个上述X射线检测器中的上述另一部分X射线检测器移动到多个上述拍摄位置中的与上述第一位置不同的第二位置。