发明名称 一种喷头装置
摘要 本实用新型涉及一种喷头装置,包括设备接口组件和喷头组件,设备接口组件与喷头组件配合连接,其特征是喷头组件上设置有两个以上的喷头孔,喷头孔与设备接口组件连通。本实用新型所述喷头孔有八个。本实用新型与现有技术相比,具有以下优点和效果:结构简洁,成本低,效果好,喷涂速度快等特点。
申请公布号 CN202591048U 申请公布日期 2012.12.12
申请号 CN201220105977.6 申请日期 2012.03.20
申请人 恒诺微电子(嘉兴)有限公司 发明人 魏永
分类号 B05C5/00(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I 主分类号 B05C5/00(2006.01)I
代理机构 杭州天欣专利事务所 33209 代理人 陈红
主权项 一种喷头装置,包括设备接口组件和喷头组件,设备接口组件与喷头组件配合连接,其特征是:喷头组件上设置有两个以上的喷头孔,喷头孔与设备接口组件连通。
地址 314000 浙江省嘉兴市秀洲区新塍工业园区恒诺路18号