用于在增强景深的情形下检查物体的装置和方法

摘要

本发明公开了一种用于测量物体平面的高度或物体上多个点的高度的装置，该装置包含有：成像系统，其具有经过成像系统的焦点的焦平面，其中该成像系统的焦平面相对于物体平面以成斜角的方式被斜置，以致于仅仅该物体平面的细小局部处于对焦中。可供选择的是，在成像系统和物体相对移动过程中，该焦平面以相对于成像系统的扫描方向成斜角的方式被斜置。

主权项

一种用于测量物体平面的高度的装置，该装置包含有：成像系统，其具有经过成像系统的焦点的焦平面，其中该成像系统的焦平面相对于物体平面以成斜角的方式被斜置，以致于仅仅该物体平面的细小局部处于对焦中。