压电振动器件的制造装置

摘要

在压电振动器件的制造装置中，设置气密密封室和检查室，该气密密封室通过在真空气氛下对多个密封构件进行加热接合而形成真空状态的内部空间，在内部空间中对电子部品元件进行气密密封；该检查室对压电振动器件的内部空间的气密状态进行检查，按前述气密密封室、前述检查室的顺序输送压电振动器件。

主权项

一种压电振动器件的制造装置，所述压电振动器件中，通过接合多个密封构件而形成内部空间，在此内部空间中气密地密封包含压电振动元件的1个以上的电子部品元件，作为与外部电气地连接的外部端子，形成与压电振动元件连接的压电振动元件用外部端子，其特征在于：该压电振动器件的制造装置设置气密密封室和检查室，该气密密封室通过在真空气氛下加热接合多个密封构件而形成真空状态的内部空间，在内部空间中对电子部品元件进行气密密封；该检查室用于对压电振动器件的内部空间的气密状态进行检查，按前述气密密封室、前述检查室的顺序输送压电振动器件。