加工装置

摘要

本发明提供一种加工装置，其能够根据被加工物适当调整光的照射状况。该加工装置具有对卡盘工作台所保持的被加工物进行摄像的摄像构件，摄像构件包括：摄像机；半透半反镜；第1频闪光源；多根光纤；第2频闪光源，其将光入射到多根光纤的另一端面以对被加工物进行环形照明；第1光量调整器，其配设在第1频闪光源和半透半反镜之间；和第2光量调整器，其配设在第2频闪光源和多根光纤的另一端面之间，第1和第2光量调整器各自具有：旋转板；开口部，其形成于旋转板并用于供从第1或第2频闪光源照射的频闪光透过；和遮光板，其与旋转轴的旋转角度对应地使透过该开口部的光量在最大值和最小值之间变化。

主权项

一种加工装置，所述加工装置具有：卡盘工作台，所述卡盘工作台用于保持被加工物；加工构件，所述加工构件用于对保持于所述卡盘工作台的被加工物施行加工；摄像构件，所述摄像构件用于对保持于所述卡盘工作台的被加工物进行摄像；和加工进给构件，所述加工进给构件用于对所述卡盘工作台和所述加工构件相对地进行加工进给，所述加工装置的特征在于，所述摄像构件包括：摄像机，所述摄像机用于对保持于所述卡盘工作台的被加工物进行摄像；半透半反镜，所述半透半反镜配设在所述摄像机的光轴上；第1频闪光源，所述第1频闪光源用于经所述半透半反镜对保持于所述卡盘工作台的被加工物进行垂直照明；多根光纤，所述多根光纤以所述摄像机的光轴为中心配设成环状，并且所述多根光纤的一端面与保持于所述卡盘工作台的被加工物面对；第2频闪光源，所述第2频闪光源用于将光入射到所述多根光纤的另一端面，以对保持于所述卡盘工作台的被加工物进行环形照明；第1光量调整器，所述第1光量调整器配设在所述第1频闪光源和所述半透半反镜之间；以及第2光量调整器，所述第2光量调整器配设在所述第2频闪光源和所述多根光纤的另一端面之间，所述第1光量调整器和所述第2光量调整器各自包括：旋转板，所述旋转板具有旋转轴；开口部，所述开口部形成于所述旋转板，并用于供从所述第1频闪光源或所述第2频闪光源照射的频闪光透过；以及遮光板，所述遮光板与所述旋转轴的旋转角度对应地使透过所述开口部的光量在最大值和最小值之间变化。