热式流量传感器

摘要

即使在设置有加热电阻和测温电阻体的基板的膜片部产生变形，也能够减少因变形而产生的连接有测温电阻体的电桥电路的信号变动。在具有基板、基板上形成的膜片（13）、膜片上形成的发热电阻体（2）和温度检测电阻体（7～10），通过对发热电阻体加热而检测被测定流体的流量的热式流量传感器中，相对于膜片上的发热电阻体，在被测定流体的流动的上游一侧和下游一侧，形成有变形检测电阻体（11、12），由变形检测电阻体检测膜片上产生的变形量，基于检测到的变形量进行上述发热电阻体和上述温度检测电阻体检测到的流量信号的变形补偿。

主权项

一种热式流量传感器，其具有基板、所述基板上形成的膜片、所述膜片上形成的发热电阻体和温度检测电阻体，通过对所述发热电阻体加热而检测被测定流体的流量，该热式流量传感器的特征在于：相对于所述膜片上的所述发热电阻体，在被测定流体的流动的上游一侧和下游一侧，形成有变形检测电阻体，由所述变形检测电阻体检测所述膜片上产生的变形量，基于所述检测到的变形量进行所述发热电阻体和所述温度检测电阻体检测到的流量信号的变形补偿。