供应氟的方法

摘要

元素氟作为蚀刻剂被用于制造电子器件如半导体器件、微机电器件、薄膜晶体管、平板显示器以及太阳能电池板，并且作为室清洁剂主要用于PECVD器具。为此目的，元素氟通常是在现场生产的。本发明提供了一种方法，其中通过现场生产它并且在一个高于环境压力的压力下将其递送到使用点而防止了元素氟被气态杂质如空气或湿气的污染。

主权项

一种用于制造电子器件的方法，该方法包括使用元素氟作为蚀刻剂或室清洁剂在室中蚀刻物品或清洁室，包括至少制造该元素氟的步骤、递送该氟到使用点的步骤、以及任选地至少一个另外的选自下组的步骤，该组的组成为：纯化步骤和储存步骤，其中该元素氟至少在该递送到使用点的步骤中被保持在大于环境压力的压力下。