一种恒温测量式微型湿度传感器和制作方法

摘要

本发明一种恒温测量式微型湿度传感器和制作方法，涉及传感技术，该传感器，由湿敏薄膜电容和基底组成，其中：湿敏薄膜电容的下电极中至少有一个电极作为电容或阻抗测量电极，又作为恒温控制加热电极，并与下电极中的温度传感器在传感器的外部电路控制下使这种微型湿度传感器恒定在一定温度下进行湿度测量；该传感器中用于支撑湿敏薄膜电容的很薄的支撑膜片具有通透的孔或间隙结构，减小了热量损失，使传感器在较低功耗下实现恒温测量。本发明微型湿度传感器不受环境温度影响、温度系数小、低温性能好，实现了零下温度下的湿度测量，且体积小于2毫米×2毫米×2毫米。本发明应用于日常生活、工业生产、气象预报、环境监测、航空航天等方面。

主权项

一种恒温测量式微型湿度传感器，其特征在于，由湿敏薄膜电容和基底两部分组成；湿敏薄膜电容的下电极中至少有一个电极作为电容或阻抗测量电极，又作为恒温控制的加热电极；湿敏薄膜电容置于基底上面，湿敏薄膜电容所在的基底区域为支撑膜片结构；湿敏薄膜电容包括四层薄膜，依次为保护薄膜、上电极薄膜、湿度敏感薄膜、下电极薄膜；在不直接支撑湿敏薄膜电容的支撑膜片上带有上下通透的孔或间隙结构。