OXIDE MATERIAL AND SPUTTERING TARGET

摘要

본 발명은 인듐(In), 주석(Sn) 및 금속 원소 M을 함유하고, 일메나이트 구조 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 산화물 재료; 이 산화물 재료로 이루어지는 스퍼터링 타겟; 그것을 이용하여 성막한 투명 도전막; 및 이 투명 도전막으로 이루어지는 투명 전극에 관한 것이다.