太阳电池硅衬底的质量检验方法

摘要

太阳电池硅衬底的质量检验方法，涉及电池片质量检验技术，在电性能数据和EL测试图像记录完成后，将电池片浸泡在盐酸和硝酸的水溶液中，去掉两面银栅和背面的铝背场，再向溶液中加入适量的氢氟酸，以去掉正面的氮化硅镀膜层和P-N结层，得到硅衬底；用P-N型测试仪测量硅衬底两面导电类型至均无N型区部分；将硅衬底用水清洗、风干，用四探针电阻率测试仪测量表面电阻，用少子寿命测试仪测量其少子寿命，即可得出太阳电池硅衬底质量，结合电性能数据和EL测试图像就可确定太阳电池的质量。本发明有益效果是：所需测量工具为太阳能行业常见工具，简单易用，测量简单方便，对太阳电池硅衬底的质量判断准确，为太阳电池的生产及检验提供了更为可靠的依据。

主权项

太阳电池硅衬底的质量检验方法，其特征在于依次进行以下步骤：a将成品太阳电池电性能数据及EL测试数据详细记录；b根据环境条件的不同配制盐酸硝酸混合溶液，盐酸与硝酸的比例为10～1：1～20；其中，盐酸含量：分析纯36%～38%，硝酸含量：分析纯68%～70%；c取1～2片太阳电池放入配好的盐酸硝酸混合溶液中，观察去除太阳电池两面的银栅线和太阳电池背面的铝背场；d当观察太阳电池两面的银栅线脱落，并且太阳电池背面的铝背场反应去除干净后，向溶液中加入氢氟酸，氢氟酸体积为盐酸硝酸混合溶液的1%～20%；氢氟酸的浓度小于或等于20%；e观察正面的氮化硅薄膜去除情况，当氮化硅去除后每隔1～3分钟将太阳电池取出，用纯水洗净，测量其两面的导电类型，如果为N型则将太阳电池放回溶液继续反应；f当测量太阳电池两面的导电类型均为P型后，此时就得到了太阳电池的硅衬底，将太阳电池取出，用纯水洗净、烘干；g将得到的太阳电池硅衬底用四探针测量其电阻，用少子寿命测试仪测量其少子寿命，并将其与太阳电池的电性能数据与EL测试图像进行比对；正常硅太阳电池硅衬底的电阻率应该在1欧姆厘米至欧姆厘米之间，多晶硅片衬底的平均少子寿命大于1微秒为正常，单晶硅片衬底的平均少子寿命大于1.4微秒为正常，并可根据对应数据做详细分析。