用于表面测量的测量机的测量方法

摘要

公开了一种用于表面测量的测量机的测量方法，该测量机包括基座；测量部件，该测量部件用于建立并保持至待测量的表面的接触或无接触的，尤其是光学的测量连接，其中所述测量部件借助于至少一个连接元件（10）连接到所述基座；以及至少一个旋转编码器，所述至少一个旋转编码器检测所述至少一个连接元件（10）相对于保持件（11）的旋转，并且所述至少一个旋转编码器中的每个都具有码载体（12）和传感器装置（13）。在所述测量方法中，取决于所述码载体（12）相对于所述传感器装置（13）的三维位置的码投影在该传感器装置（13）上产生，并且所述码投影的至少一部分被捕捉。由此，所述码载体（12）相对于所限定的旋转轴线（DA）的角度位置被确定并且所述测量部件相对于所述基座的当前测量位置被测定，其中，针对所述至少一个旋转编码器，所述码载体（12）相对于所述传感器装置（13）的至少一个其他自由度的位置值基于所述码投影被确定并且被考虑以测定所述当前测量位置，并且所述连接元件（10）相对于所述保持件（11）的相对位置和/或其以形状或位置变化的形式的变形从所述位置值来确定。

主权项

一种用于表面测量的测量机的测量方法，所述测量机尤其为坐标测量机（1），所述测量机包括：‑基座（4），‑测量部件（6），该测量部件用于产生并且保持与待测量表面的接触式或无接触的测量连接，所述测量连接尤其是光学测量连接，其中，所述测量部件（6）借助至少一个连接元件（10）连接到所述基座（4），‑至少一个旋转编码器（9、9’），所述至少一个旋转编码器检测所述至少一个连接元件（10）相对于托座（11）的旋转，并且所述旋转编码器都具有码载体（12、12’）和传感器装置（13、13’），其中所述码载体和所述传感器装置能绕限定的旋转轴线（DA）相对于彼此旋转，作为第一自由度，并且所述方法包括：·在所述传感器装置（13、13’）上产生码投影，所述码投影取决于所述码载体（12、12’）相对于所述传感器装置（13、13’）的三维位置；并且检测所述码投影的至少一部分，·基于所述码投影测定所述码载体（12、12’）相对于所述限定的旋转轴线（DA）的旋转位置，·利用所述至少一个旋转编码器（9、9’）的旋转位置测定所述测量部件（6）相对于所述基座（4）的当前测量位置，所述方法的特征在于，对于所述至少一个旋转编码器（9、9’），基于所述码投影，当测定所述当前测量位置时测定并考虑针对所述码载体（12、12’）相对于所述传感器装置（13、13’）的至少一个其他自由度的位置值，其中，所述位置值被用来测定所述连接元件（10）相对于所述托座（11）的相对位置和/或所述连接元件（10）的作为形状和/或尺寸变化的变形，所述相对位置尤其与所述码载体（12、12’）的所述其他自由度对应。