一种自动光学检测仪的运动机构

摘要

本实用新型涉及一种自动光学检测仪的运动机构，此运动机构包含X向运动、Y向运动、Z向运动三部分机构，X向、Y向运动机构主要由底座、U型支座、支架、X向同步带、夹板、X向导杆、凹槽、X向步进电机、L型挡板、连接杆、Y向步进电机、Y向导杆、Y向同步带、挡板组成，Z向运动机构主要由横梁、Z向导轨、丝杆、Z向步进电机、框体、连接板、镜头、图像采集系统组成。本系统的主运动机构采用X、Y、Z三向机构，X、Y向控制底部被测底板运动，Z向控制镜头及CCD运动。本系统采用三轴实现了自动化快速测试，可使采集的图像更清晰，质量更高，提高缺陷认知能力。

主权项

一种自动光学检测仪的运动机构，包含X向运动、Y向运动、Z向运动三部分机构，其特征在于，X、Y向导杆、同步带及步进电机均固定在L型挡板上，支架用于紧固导杆，U型支座用于连接同步带，夹板和挡板的一端装在导杆中，并与同步带固定在一起，步进电机带动同步带同时带动夹板和挡板在导杆中滑动，X、Y向控制底部被测底板运动；所述Z向运动机构由横梁、Z向导轨、丝杆、Z向步进电机、框体、连接板、镜头、图像采集系统组成，Z向机构控制镜头及CCD运动，镜头及CCD图像采集系统构成Z轴运动件，运动件通过连接板与丝杆连接，丝杆通过步进电机将运动件带动沿Z向导轨滑动，导轨的两侧安装在横梁上，其横梁固定在框体上，由此构成Z向运动机构。