发明名称 真空蒸发镀膜用的电接触结构
摘要 本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其是涉及真空蒸发镀膜用的电接触结构,包括可相互对接导通的第一接触板和第二接触板,所述第一接触板固定安装在大门组件上;所述第二接触板安装在一气缸的伸缩端上,气缸固定在真空室组件上;所述气缸的伸缩轴外端轴向组设一绝缘柱,绝缘柱的外端固定第二接触板及一导电压板,导电压板与第二接触板紧贴在一起。本实用新型采用气缸驱动接触板接触工作,达到自动化控制,智能性高,工作稳定,能满足生产的需要,且确保生产的稳定性和质量;结构简单,科学合理,投资成本低,大大提高了真空蒸发镀膜机的运行率和可操作性,体积小巧,安装、使用方便。
申请公布号 CN202595249U 申请公布日期 2012.12.12
申请号 CN201220129970.8 申请日期 2012.03.31
申请人 广东友通工业有限公司 发明人 赵铭
分类号 C23C14/24(2006.01)I 主分类号 C23C14/24(2006.01)I
代理机构 东莞市创益专利事务所 44249 代理人 李卫平
主权项 真空蒸发镀膜用的电接触结构,包括可相互对接导通的第一接触板(1)和第二接触板(2),其特征在于:第一接触板(1)固定安装在大门组件(3)上;所述第二接触板(2)安装在一气缸(4)的伸缩端上,气缸(4)固定在真空室组件(5)上。
地址 523000 广东省东莞市企石镇下截村深坑工业区东部快速路边