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发明名称
摘要
申请公布号
JP5099087(B2)
申请公布日期
2012.12.12
申请号
JP20090179372
申请日期
2009.07.31
申请人
发明人
分类号
H01L21/336;H01L21/28;H01L21/76;H01L29/417;H01L29/78
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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