发明名称 制造一体化光伏模块的方法
摘要 本发明描述一种制造一体化光伏模块的方法。该方法包括以下步骤。首先,提供一可挠性基板,并在其上形成一第一粘着层、一金属层及一第二粘着层。用至少一种蚀刻膏,蚀刻该第二粘着层、该金属层及该第一粘着层。此外,通过蚀刻膏或冷激光切割,在其上形成一经图案化的半导体本体层。此外,通过蚀刻膏或冷激光切割,在该经图案化的半导体本体层上形成图案化的透明顶部电极。
申请公布号 CN102097536B 申请公布日期 2012.12.12
申请号 CN201010585045.1 申请日期 2010.12.08
申请人 杜邦太阳能有限公司 发明人 王秋富;江获先
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/048(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人 陈红
主权项 一种制造一体化光伏模块的方法,其特征在于,其包含以下步骤:提供一可挠性基板;在该可挠性基板上形成一第一粘着层;在该第一粘着层上形成一金属层;在该金属层上形成一第二粘着层;及用至少一种蚀刻膏蚀刻穿过该第二粘着层、该金属层及该第一粘着层;在已经图案化的第二粘着层上形成一半导体本体层,其中该半导体本体层为由非晶硅、多晶硅或微晶硅制成的一硅基层;在该半导体本体层上形成一保护层;通过一种蚀刻膏蚀刻穿过该保护层及该半导体本体层,以图案化该半导体本体层;在已经图案化的半导体本体层上与保护层上形成一透明导电氧化物层;图案化该透明导电氧化物层以形成透明顶部电极,其中该透明导电氧化物层是通过蚀刻膏或冷激光切割加以图案化。
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