用于护理研磨垫的方法和设备

摘要

一种护理研磨台上的研磨垫的方法，研磨垫用于通过与形成在基板的表面上的薄膜接触而研磨薄膜，该方法包括：使修整器接触研磨垫；和通过在研磨垫的中心部分和研磨垫的外周部分之间移动修整器来护理研磨垫；其中，修整器在研磨垫的预定区域中的移动速度高于修整器在研磨垫的预定区域中的标准移动速度。

主权项

一种护理研磨台上的研磨垫的方法，所述研磨垫用于通过与形成在基板的表面上的薄膜接触而研磨所述薄膜，其特征在于，所述方法包括：使修整器接触所述研磨垫；和通过在所述研磨垫的中心部分和所述研磨垫的外周部分之间移动所述修整器来护理所述研磨垫；其中，所述修整器在所述研磨垫的预定区域中的移动速度高于所述修整器在所述研磨垫的所述预定区域中的标准移动速度。