一种常压双射频电极的等离子体自由基清洗喷枪

摘要

一种常压双射频电极的等离子体自由基清洗喷枪，包括两个射频电极、介质阻挡层、两个接地电极和一个射频电源，该喷枪呈长方体，其中一面接进气口，相对的面为喷口，除喷口面外，喷枪其余各面均为金属板，两个接地电极被介质阻挡层包覆，两个接地电极之间为两个射频电极，形成三个喷口，两个射频电极也被介质阻挡层包覆，工作气体从喷枪喷口喷出，在常压下，电源接通后，在三个喷口均产生辉光等离子体，等离子体中的自由基在气流的携带下向外喷出，该喷枪用于对硅片、玻璃等衬底表面的有机物进行清洗。

主权项

一种常压双射频电极的等离子体自由基清洗喷枪，包括两个射频电极、介质阻挡层、两个接地电极和一个射频电源，其特征在于：该喷枪呈长方体，其中一面接进气口，相对的面为喷口，除喷口面外，喷枪其余各面均为金属板，两个接地电极被介质阻挡层包覆，两个接地电极之间为两个射频电极，形成三个喷口，两个射频电极被介质阻挡层包覆，工作气体从喷枪喷口喷出，在常压下，电源接通后，在三个喷口中均产生辉光等离子体，等离子体中的自由基在气流的携带下向外喷出。