主权项 |
一种扫描式测头测量装置,其包括有机械测头部分和光栅信号处理部分;其特征在于:在所述的机械侧头部分中包括有两层平行簧片结构组;所述的两层平行簧片结构相互垂直;与测头外壳(2)相连有测头Y轴固定端(25),Y轴固定端(25)固接有Y轴光栅读数头(23);转接板(22)呈L形,其一支端连接有X轴光栅读数头(18),另一支端上固定有Y轴光栅尺(27),X轴光栅读数头(18)与Y轴光栅尺(27)的位置相互垂直;所述的Y轴光栅读数头(23)正对Y轴光栅尺(27);两块侧板(24)分别通过弹性簧片(16)与Y轴固定端(25)和转接板(22)相连,两块侧板(24)分别位于所述Y轴光栅尺(27)的两侧且相互平行;X轴移动端(19)上固接有X轴光栅尺(17),X轴光栅尺(17)正对着X轴光栅读数头(18);两块侧板(24)通过弹性簧片(16)与X轴移动端(19)和转接板(22)的一个支端相连,两块侧板(24)分别位于X轴光栅尺(17)的两侧并相互平行;测针(3)固定于X轴移动端(19)上;所述的X轴光栅读数头(18)与Y轴光栅读数头(23)相互垂直;由X轴光栅读数头(18)和Y轴光栅读数头(23)分别引出光栅线缆(7),光栅线缆(7)接入光栅信号处理部分的光栅信号接口(15)。 |