发明名称 |
组合电极 |
摘要 |
本实用新型公开了一种电解蚀刻设备中用的组合电极,包括电极本体,所述电极本体上具有若干个出液通道,出液通道的出口设在电极本体的上表面,所述电极本体的上部装有滚轮,滚轮由装在电极本体上的滚轮轴支撑,滚轮的顶面高于电极本体的上表面。本实用新型能保持被电解蚀刻板下表面与电极上表面之间的间隙恒定、导电效果好。 |
申请公布号 |
CN202595324U |
申请公布日期 |
2012.12.12 |
申请号 |
CN201220189762.7 |
申请日期 |
2012.04.29 |
申请人 |
常州正成机电科技有限公司 |
发明人 |
周丁政 |
分类号 |
C25F7/00(2006.01)I |
主分类号 |
C25F7/00(2006.01)I |
代理机构 |
常州市天龙专利事务所有限公司 32105 |
代理人 |
周建观;张云 |
主权项 |
一种组合电极,包括电极本体(1),其特征在于:a、所述电极本体(1)上具有若干个出液通道(1‑2),出液通道(1‑2)的出口设在电极本体(1)的上表面,b、所述电极本体(1)的上部装有滚轮(3),滚轮(3)由装在电极本体(1)上的滚轮轴(2)支撑,滚轮(3)的顶面高于电极本体(1)的上表面。 |
地址 |
213133 江苏省常州市新北区罗溪镇空港工业区盛意路9号 |