过滤器保持装置、曝光装置、及元件制造方法

摘要

过滤器保持装置，具备：保持第1、第2过滤器的第1、第2框架；以及设于第1、第2框架的第1、第2把手部；具有第1、第2形状变化部，其形成于第1、第2框架的侧面的至少一部分，从第1、第2框架的一端面往另一端面且变化至第1、第2框架外侧，第1把手部对第1框架的位置关系与第2把手部对第2框架的位置关系是相异。能正确地进行过滤器的更换。

主权项

一种过滤器保持装置，是保持包含第1过滤器及第2过滤器的多个过滤器，其特征在于，具备：保持前述第1过滤器的第1框架；设于前述第1框架的第1把手部；保持前述第2过滤器的第2框架；以及设于前述第2框架的第2把手部；具有第1形状变化部，其设于前述第1框架的侧面中第1侧面的至少一部分，从前述第1框架的两个端面中一端面侧往另一端面侧且变化至前述第1框架外侧；以及第2形状变化部，其设于前述第2框架的侧面中第2侧面的至少一部分，从前述第2框架的两个端面中一端面侧往另一端面侧且变化至前述第2框架外侧；前述第1侧面中的前述第1形状变化部的位置关系与前述第2侧面中的前述第2形状变化部的位置关系、以及前述第1把手部对前述第1框架的位置关系，与前述第2把手部对前述第2框架的位置关系的至少一方相异。