发明名称 |
一种用于晶体硅铸锭炉的坩埚保护装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种用于晶体硅铸锭炉的坩埚保护装置,包括坩埚底板、带有导气孔的坩埚盖板、绕所述坩埚底板边缘立置的坩埚侧板,所述坩埚侧板的顶部设有支撑所述坩埚盖板的支撑柱。本实用新型提供的用于晶体硅铸锭炉的坩埚保护装置,在有效保护石英坩埚的同时,大大降低坩埚保护装置的加工制造成本,同时减少了晶体硅产品中碳元素的含量,提高了晶体硅的质量。 |
申请公布号 |
CN202595326U |
申请公布日期 |
2012.12.12 |
申请号 |
CN201220207658.6 |
申请日期 |
2012.05.09 |
申请人 |
熊红兵 |
发明人 |
熊红兵 |
分类号 |
C30B11/00(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B11/00(2006.01)I |
代理机构 |
杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 |
代理人 |
胡红娟 |
主权项 |
一种用于晶体硅铸锭炉的坩埚保护装置,包括坩埚底板(2)、带有导气孔的坩埚盖板(6)、绕所述坩埚底板(2)边缘立置的坩埚侧板(7),其特征在于,所述坩埚侧板(7)的顶部设有支撑所述坩埚盖板(6)的支撑柱(8)。 |
地址 |
310030 浙江省杭州市西湖区古墩路浙大紫金文苑10-1-502 |