发明名称 一种用于晶体硅铸锭炉的坩埚保护装置
摘要 本实用新型公开了一种用于晶体硅铸锭炉的坩埚保护装置,包括坩埚底板、带有导气孔的坩埚盖板、绕所述坩埚底板边缘立置的坩埚侧板,所述坩埚侧板的顶部设有支撑所述坩埚盖板的支撑柱。本实用新型提供的用于晶体硅铸锭炉的坩埚保护装置,在有效保护石英坩埚的同时,大大降低坩埚保护装置的加工制造成本,同时减少了晶体硅产品中碳元素的含量,提高了晶体硅的质量。
申请公布号 CN202595326U 申请公布日期 2012.12.12
申请号 CN201220207658.6 申请日期 2012.05.09
申请人 熊红兵 发明人 熊红兵
分类号 C30B11/00(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 主分类号 C30B11/00(2006.01)I
代理机构 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 代理人 胡红娟
主权项 一种用于晶体硅铸锭炉的坩埚保护装置,包括坩埚底板(2)、带有导气孔的坩埚盖板(6)、绕所述坩埚底板(2)边缘立置的坩埚侧板(7),其特征在于,所述坩埚侧板(7)的顶部设有支撑所述坩埚盖板(6)的支撑柱(8)。
地址 310030 浙江省杭州市西湖区古墩路浙大紫金文苑10-1-502