| 主权项 |
一种缺陷检查系统，检测具有透明性的板状体所存在的缺陷，其特征在于，具备：第一缺陷检查装置，具有：第一光源，向所述板状体的面投射光；第一摄像机，使通过所述板状体的透射光会聚而拍摄明场图像；及刀刃状的光路屏蔽部件，设置在所述第一摄像机的透射光的光路中的位于所述第一摄像机前方的位置；及处理装置，从通过所述第一摄像机拍摄到的明场图像中，将比明场图像的背景成分的信号值高的信号值作为阈值，从明场图像中搜索明部的区域，作为搜索的结果提取出明部的区域时，使用该明部的区域判别在所述板状体是否存在缺陷区域，所述第一光源为线状光源，在所述第一摄像机的受光面的前表面设有用于使板状体的像成像的成像透镜，以满足第一条件和第二条件的方式设定所述第一光源、所述成像透镜及所述第一摄像机，所述第一条件为：将从所述第一光源经由所述成像透镜到达所述第一摄像机的受光面的所述第一光源的透射光光束的扩展角的一半角度作为照明发光有效角，将从所述第一摄像机的受光面的位置经由所述成像透镜到达所述第一光源的照射面的视场范围的预估角的一半角度作为视场角，并设表达所述第一光源的发光方向性的值为α时，所述视场角相对于所述照明发光有效角的比率乘以表达所述第一光源的发光方向性的值α得到的值大于2，其中，表达第一光源的发光方向性的值α是指，将与光源的照射面正交的方向作为方位角0度而取得方位角度、且设最大光强度的值为1时的相对光强度的平均值，所述第二条件为：确定了弥散圆时，所述弥散圆被所述光路屏蔽部件遮挡的部分的面积为所述弥散圆的面积的43～57％，所述弥散圆为 在所述光路屏蔽部件的所述透射光的通过位置且在与所述成像透镜的光轴正交的面上形成的、从所述受光面观察到的视场范围。 |
