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发明名称
摘要
申请公布号	JP5095558(B2)	申请公布日期	2012.12.12
申请号	JP20080221842	申请日期	2008.08.29
申请人		发明人
分类号	H01L21/304;H01L21/02	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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