发明名称 |
单臂升降装置和双臂升降装置 |
摘要 |
本发明实施例公开了一种单臂升降装置和一种双臂升降装置,属于电子制造技术领域。本发明提供的单臂升降装置和双臂升降装置能够保证托架平稳上升或下降。该单臂升降装置,包括对射传感器,对射传感器的发射端设置于升降臂上,对射传感器的接收端设置于托架远离升降臂的一端;或者,对射传感器的接收端设置于升降臂上,对射传感器的发射端设置于托架远离升降臂的一端。该双臂升降装置,包括对射传感器,对射传感器的发射端和接收端分别设置于两个升降臂上。本发明应用于改进升降装置。 |
申请公布号 |
CN102817010A |
申请公布日期 |
2012.12.12 |
申请号 |
CN201110156393.1 |
申请日期 |
2011.06.10 |
申请人 |
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
发明人 |
赵海洋 |
分类号 |
C23C16/44(2006.01)I;B66F7/28(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/44(2006.01)I |
代理机构 |
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 |
代理人 |
申健 |
主权项 |
一种单臂升降装置,包括导向架以及设置于所述导向架上的升降臂,由驱动器驱动所述升降臂沿所述导向架上升或下降,所述升降臂与托架的一端相连,其特征在于:还包括对射传感器,所述对射传感器的发射端设置于所述升降臂上,所述对射传感器的接收端设置于所述托架远离所述升降臂的一端;或者,所述对射传感器的接收端设置于所述升降臂上,所述对射传感器的发射端设置于所述托架远离所述升降臂的一端。 |
地址 |
100026 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼 |