光学系统波像差标定装置及该装置测试误差的标定方法

摘要

光学系统波像差标定装置及该装置测试误差的标定方法，涉及光学测量技术领域，它解决现有光学系统在检测光学元件之前无法评价其测试误差是否满足检测精度要求以及选择合适的移相算法对采集的数据进行处理的问题，本发明所述的分光系统出射两束共光路的正交线偏振光经偏振分光棱镜出射后经过耦合透镜耦合到参考光纤中，所述参考光纤衍射的两个球面波发生干涉，获得干涉图；采用光电探测器进行采集后传送至计算机，采用压电陶瓷进行移相，所述光电探测器采集多次干涉图；采用十三步移相算法进行数据处理分析，获得测试误差，本发明实现对光学系统波像差的超高精度检测。

主权项

光学系统波像差标定装置，该装置包括分光系统、耦合透镜（12）、参考光纤（13）、电动偏振控制器（14）、光电探测器（15）、计算机（16）；其特征是，所述分光系统包括激光器（1）、中性密度滤光片（2）、二分之一波片（3）、偏振分光棱镜（4）、第一四分之一波片（5）、第二四分之一波片（6）、第一角锥棱镜（7）、第二角锥棱镜（8）、第一平面反射镜（10）和第二平面反射镜（11）；所述激光器（1）出射的光束经中性密度滤光片（2）、二分之一波片（3）和偏振分光棱镜（4）后，分成两束正交的线偏振光，第一束线偏振光经过偏振分光棱镜（4）的水平方向的第一四分之一波片（5）和第一角锥棱镜（7）后，经第一平面反射镜（10）反射至偏振分光棱镜（4）；第二束线偏振光经过偏振分光棱镜（4）垂直方向的第二四分之一波片（6）和第二角锥棱镜（8）后，经第二平面反射镜（11）反射至偏振分光棱镜（4），所述偏振分光棱镜（4）出射的光束经耦合透镜（12）耦合到参考光纤（13）中，电动偏振控制器（14）控制光束的偏振态，光电探测器（15）接收参考光纤（13）端面反射光束的干涉图被计算机（16）接收。