一种钨旋转镀膜的溅射管靶的制作工艺

摘要

一种钨旋转镀膜的溅射管靶的制作工艺，采用钨粉为原料，首先将原料装入橡胶模套内，制备成空心的粉质钨管坯，然后采用冷等静压机成型，后将成型后的固体管坯放入中频烧结炉中，成型坯体备用：将成型坯加热到1300°—1700°，加热时间为1—3小时，取出后采用空气锤进行锻打直至锻打成钨棒，后进行镗孔、车外圆，使表面粗糙度达到Ra1.6～Ra3.2µm后，溅射管靶制作完成。本方法制作工艺简单，对设备要求不高，因此投入成本较低，制备出的靶材致密性较好，相对密度达到99%以上。

主权项

一种钨旋转镀膜的溅射管靶的制作工艺，其特征在于：采用钨粉为原料，钨粉的纯度≥99.95%，粒度在2.6—3.3μm，制作步骤如下：步骤一、将原料装入橡胶模套内，制备成空心的粉质钨管坯，然后采用冷等静压机成型，压力为50—400Mpa，10—20分钟后固体管坯成型；步骤二、将成型后的固体管坯放入中频烧结炉中，炉内通入氢气，加热温度为1900℃，加热时间为30个小时，后采用水循环降温，8—16小时后冷却至室温完成，成型坯体备用；步骤三、将步骤二处理后的成型坯体加热到1300℃—1700℃，加热时间为1—3小时，取出后以冲击力为750公斤的空气锤进行锻打10—20次，锻打成钨棒后放入电热炉中回火半个小时，回火温度为450℃—500℃，后备用；步骤四、将步骤三处理后的钨棒进行机械加工，镗孔、车外圆，使表面粗糙度达到Ra1.6~Ra3.2µm后，溅射管靶制作完成。