发明名称 | 光学测量装置 | ||
摘要 | 一种光学测量装置,用于测量透明基板,包括:固定所述透明基板的固定器件,所述固定器件与所述透明基板的待测表面相接触;对所述待测表面进行成像,形成待测表面像的成像器件;位于所述待测表面像的像面位置处,通过探测所述待测表面像获得缺陷信息的探测器件。本实用新型的光学测量装置结构比较简单。 | ||
申请公布号 | CN202599864U | 申请公布日期 | 2012.12.12 |
申请号 | CN201220151889.X | 申请日期 | 2012.04.11 |
申请人 | 法国圣戈班玻璃公司 | 发明人 | 陈大志;郑媛;孙晓伟;史伟杰 |
分类号 | G01N21/958(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/958(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 朱胜;李春晖 |
主权项 | 一种光学测量装置,用于测量透明基板,其特征在于,包括:固定所述透明基板的固定器件,所述固定器件与所述透明基板的待测表面相接触;对所述待测表面进行成像,形成待测表面像的成像器件;位于所述待测表面像的像面位置处,通过探测所述待测表面像获得缺陷信息的探测器件。 | ||
地址 | 法国库伯瓦 |