发明名称 光学测量装置
摘要 一种光学测量装置,用于测量透明基板,包括:固定所述透明基板的固定器件,所述固定器件与所述透明基板的待测表面相接触;对所述待测表面进行成像,形成待测表面像的成像器件;位于所述待测表面像的像面位置处,通过探测所述待测表面像获得缺陷信息的探测器件。本实用新型的光学测量装置结构比较简单。
申请公布号 CN202599864U 申请公布日期 2012.12.12
申请号 CN201220151889.X 申请日期 2012.04.11
申请人 法国圣戈班玻璃公司 发明人 陈大志;郑媛;孙晓伟;史伟杰
分类号 G01N21/958(2006.01)I 主分类号 G01N21/958(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 朱胜;李春晖
主权项 一种光学测量装置,用于测量透明基板,其特征在于,包括:固定所述透明基板的固定器件,所述固定器件与所述透明基板的待测表面相接触;对所述待测表面进行成像,形成待测表面像的成像器件;位于所述待测表面像的像面位置处,通过探测所述待测表面像获得缺陷信息的探测器件。
地址 法国库伯瓦