发明名称 晶圆盒包装辅助装置
摘要 本实用新型公开了一种晶圆盒包装辅助装置,用于固定晶圆盒中的底座,所述底座是一两端具有开口的空心圆筒,且所述空心圆筒的下部内侧设有加强肋,所述晶圆盒包装辅助装置包括一圆柱体,所述圆柱体的直径小于或等于所述底座的内径,所述圆柱体的上部开设有与所述加强肋相匹配的凹槽,所述圆柱体固定安装于一固定平台或者地面。使用的时候,可以先将底座从上套在所述圆柱体上,使得底座内的加强肋插入对应的凹槽中,从而实现对底座的固定,然后,只需一个操作人员就可以将上盖对准旋合到底座的上,使用方便,安全可靠,不但可以显著提高晶圆封装的效率,而且可以避免由于两个操作人员配合不好而对晶圆造成损坏。
申请公布号 CN202601593U 申请公布日期 2012.12.12
申请号 CN201220262681.5 申请日期 2012.06.05
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 张学良;高海林
分类号 H01L21/673(2006.01)I 主分类号 H01L21/673(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种晶圆盒包装辅助装置,用于固定晶圆盒中的底座,所述底座是两端具有开口的空心圆筒,且所述空心圆筒的下部内侧设有加强肋,其特征在于,所述晶圆盒包装辅助装置包括一圆柱体,所述圆柱体的直径小于或等于所述底座的内径,所述圆柱体的上部开设有与所述加强肋相匹配的凹槽,所述圆柱体固定安装于一固定平台或者地面。
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