发明名称 |
晶圆盒包装辅助装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种晶圆盒包装辅助装置,用于固定晶圆盒中的底座,所述底座是一两端具有开口的空心圆筒,且所述空心圆筒的下部内侧设有加强肋,所述晶圆盒包装辅助装置包括一圆柱体,所述圆柱体的直径小于或等于所述底座的内径,所述圆柱体的上部开设有与所述加强肋相匹配的凹槽,所述圆柱体固定安装于一固定平台或者地面。使用的时候,可以先将底座从上套在所述圆柱体上,使得底座内的加强肋插入对应的凹槽中,从而实现对底座的固定,然后,只需一个操作人员就可以将上盖对准旋合到底座的上,使用方便,安全可靠,不但可以显著提高晶圆封装的效率,而且可以避免由于两个操作人员配合不好而对晶圆造成损坏。 |
申请公布号 |
CN202601593U |
申请公布日期 |
2012.12.12 |
申请号 |
CN201220262681.5 |
申请日期 |
2012.06.05 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
张学良;高海林 |
分类号 |
H01L21/673(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/673(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种晶圆盒包装辅助装置,用于固定晶圆盒中的底座,所述底座是两端具有开口的空心圆筒,且所述空心圆筒的下部内侧设有加强肋,其特征在于,所述晶圆盒包装辅助装置包括一圆柱体,所述圆柱体的直径小于或等于所述底座的内径,所述圆柱体的上部开设有与所述加强肋相匹配的凹槽,所述圆柱体固定安装于一固定平台或者地面。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江路18号 |