激光干涉仪测量装置和方法

摘要

本发明提出一种激光干涉仪测量装置和方法，所述装置包括：载物台；第一反射镜，位于所述载物台的上方；第二反射镜，固定放置于所述载物台的一侧边；第一激光干涉仪，位于所述第二反射镜的一侧，所述第一激光干涉仪出射的测量光经所述第二反射镜反射后垂直入射所述第一反射镜并沿原路返回；第三反射镜，固定放置于所述载物台的另一侧边；第二激光干涉仪，位于所述第三反射镜的一侧，所述第二激光干涉仪出射的测量光经所述第三反射镜反射后垂直入射所述第一反射镜并沿原路返回。本发明整体结构设计简单，能有效的降低成本，安装方便，降低了系统的复杂度。

主权项

一种激光干涉仪测量装置，其特征在于所述装置包括：载物台；第一反射镜，位于所述载物台的上方，所述第一反射镜反射面和所述载物台水平面平行；第二反射镜，固定放置于所述载物台的一侧边；第一激光干涉仪，位于所述第二反射镜的一侧，所述第一激光干涉仪出射的测量光经所述第二反射镜反射后垂直入射所述第一反射镜并沿原路返回，所述第一激光干涉仪出射的测量光和所述第二反射镜反射面的夹角为45度，所述第二反射镜反射面与所述载物台水平面的夹角为45度；第三反射镜，固定放置于所述载物台的另一侧边；第二激光干涉仪，位于所述第三反射镜的一侧，所述第二激光干涉仪出射的测量光经所述第三反射镜反射后垂直入射所述第一反射镜并沿原路返回，所述第二激光干涉仪出射的测量光和所述第三反射镜反射面的夹角为45度，所述第三反射镜反射面与所述载物台水平面的夹角为45度。