表面形成玻璃层的硅晶圆及其制造方法

摘要

本发明公开了一种表面形成玻璃层的硅晶圆及其制造方法，其中，硅晶圆包括硅晶圆和玻璃层，其中玻璃层为钝化层，其特征在于，所述的硅晶圆表面用于晶粒切割的区域形成图案化的沟槽，所述的玻璃层设置在沟槽内，且所述的玻璃层的中间厚度比外侧厚度薄，而其制造方法包括下列步骤：提供硅晶圆；涂布玻璃溶液于沟槽内；进行第一干燥处理；涂布玻璃溶液于第一干燥层上；进行第二干燥处理；将第一干燥层和第二干燥层进行烧结处理。本发明使得硅晶圆沟槽内的玻璃层中间厚度较外侧厚度薄，并利用玻璃层厚度分布的差异，使得在切割硅晶圆的过程中，可降低玻璃层边缘破裂的可能性。

主权项

表面形成玻璃层的硅晶圆的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一硅晶圆，其中该硅晶圆表面用于晶粒切割的区域形成图案化的沟槽；涂布玻璃溶液于上述的沟槽内，其中该玻璃溶液由液态结合液、玻璃结合粉和玻璃粉末混合形成；进行第一干燥处理：在第一温度条件下将上述的玻璃溶液干燥，得到第一干燥层；涂布玻璃溶液于所述的第一干燥层上；进行第二干燥处理：将所述的硅晶圆翻转180度使其沟槽面朝下，在第二温度条件下将所述的玻璃溶液干燥，得到第二干燥层；    以及，将上述的第一干燥层和第二干燥层进行烧结处理。