发明名称
摘要
申请公布号 JP5098151(B2) 申请公布日期 2012.12.12
申请号 JP20050315785 申请日期 2005.10.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;C23C14/08;H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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