发明名称
摘要
申请公布号 JP5098261(B2) 申请公布日期 2012.12.12
申请号 JP20060252586 申请日期 2006.09.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L21/762;H01L27/12;H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
地址